振動(dòng)的測量不同于噪音測量所示的規(guī)格，振動(dòng)測量方法及振動(dòng)計(jì)有很多種。振動(dòng)傳感器包括位移計(jì)、速度針、加速度計(jì)等，其中與速度成比例的電動(dòng)型以及與加速度成比例的壓電型振動(dòng)傳感器較常使用。振動(dòng)測量時(shí)，必須注意傳感器的指向性與被測物的振動(dòng)方向。安裝振動(dòng)傳感器時(shí)，必須注意使振動(dòng)不影響到自身。圖表示步進(jìn)電機(jī)的振動(dòng)測量功能框圖和測量舉例。

　圖的測量舉例，縱軸取振動(dòng)加速度，橫軸取作驅(qū)動(dòng)頻率，連續(xù)自動(dòng)掃頻測量.相對(duì)應(yīng)的，圖為2相HB型步進(jìn)電機(jī)的三維振動(dòng)圖形。

　亦即，步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)脈沖波連續(xù)自動(dòng)掃頻，每次記錄頻率分析的結(jié)果用三維表示。Y(傾斜)軸表示步進(jìn)電機(jī)脈沖頻率，X(橫)軸表示振動(dòng)頻率;Z(縱)軸表示振動(dòng)加速度。由此可以看出，何處的驅(qū)動(dòng)脈沖，頻率多少時(shí)，會(huì)產(chǎn)生的振動(dòng)大小，一目了然，易于分析振動(dòng)結(jié)果。

　根據(jù)圖，從振動(dòng)大的地方著到，驅(qū)動(dòng)脈沖的基波頻率造成振動(dòng)成分最大，且出現(xiàn)的振動(dòng)點(diǎn)為其偶次諧波，180pps附近的振動(dòng)為振動(dòng)加速度與轉(zhuǎn)子及其負(fù)載系統(tǒng)的自然頻率的共振。

　HB型步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)子及定子有多齒數(shù)的關(guān)系，激磁磁通含有很多的空間高次諧波，同時(shí)激磁電流也含有高次諧波，激磁磁通與電流之積所產(chǎn)生的電磁轉(zhuǎn)矩也會(huì)包含轉(zhuǎn)矩波動(dòng)，引起徑向振動(dòng)。故圖所示步進(jìn)電機(jī)的振動(dòng)主要是前者，而噪音或定子的徑向振動(dòng)的原因主要是后者。

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