根據中國直線電機行業和國內直線電機產業發展分析,認為目前主要的直線電機組合方式有以下三種:1.高精密直線電機單軸平臺 單軸通常作為X軸使用,CCTL直線電機平臺采用日本原裝THK-P級直線導軌搭配英國Renishaw光柵尺及以色列servotronix驅動器并配有限位開關等高端進口部件,性能穩定可靠,噪音少,壽命長。主要用于半導體、電子生產、研磨類機床、醫療、工具機、印刷、激光焊接行業等行業,如晶圓檢測與探測、半導體固晶機、半導體金線焊線機、高速取放與傳送設備、激光切割、激光雕刻、激光打標、3D打印設備、LCD/TFT生產與檢測平臺等。 2.高精密XY軸十字直線電機平臺 X軸(上)與Y軸(下)組合精度高,均采用高端進口零部件。直線電機模組的高加速度、高速度、高精度的優勢在本平臺上得以體現,同時電機線圈與磁軌為無接觸運行、無磨損、無反向間隙,所以其維護要求極低。 在微米工程等級的應用以及晶圓設備中尤其重視絕對精度及潔凈室適用性,采用高精度XY直線電機平臺為最佳選擇。3.XYZ龍門直線電機平臺 龍門平臺采用直線電機驅動和雙軸同步控制技術,具有高加速度、高速度、高穩定性和高可靠性等特點。廣泛應用于高速測試、激光切割、激光雕刻、高速準確取放、自動化裝配、圖像檢測、點膠機與包裝等裝置。
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